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      "text": "KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元エンジニアリング幹部は、深紫外線、アクティニックの極端紫外線、電子ビームの各開発プロジェクトに関わった。彼は、KLA製のTeron深紫外線装置などの“非極端紫外線”の装置は極端紫外線マスクの検査に十分対応できる、と強調する。「理想をいえば、マスクに回路を転写するために使う極端紫外線と同じ波長を、検査にも使いたいところです。しかし、それはあくまでも正しく設計されている装置であることが前提で、レーザーテック製の装置は正しく設計されているとはいえません」2023年に開催された極端紫外線マスクの国際学術会議でKLAらが極端紫外線検査以外の技術による極端紫外線マスクの検査技術の発展に寄与したことで表彰されたことをその証拠にあげた。「正確な設計が波長よりも重要です。実際に、深紫外線装置は極端紫外線マスクに使えます。これらの装置は長年にわたって磨き上げられてきた設計で、非常に性能がいいです。」",
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      "text": "業界筋によると、レーザーテックの主要な顧客であるインテル、TSMC、サムスンはともに、水面下で高次高調波発生（HHG）の代替光源を使って、独自に開発した検査装置を使用している。さらに、これらの顧客に近い人物は、ある会社は表向きにはレーザーテック製の極端紫外線装置を使っていると公表しつつも、内実は同社の従来の深紫外線装置を使っていたことがわかってびっくりした、という。この業界筋を驚かせたのはインテルではないかと思われる。TSMCはマスク検査で欠陥の見逃しがないことを確認するために、極端紫外線装置と平行して深紫外線装置を使う。極端紫外線マスク検査装置の市場が尽きつつある。「アクティニックはマスク検査には不十分となっていくでしょう。なぜかといえば、その解像度では捉えられない欠陥が問題となるからです。各局、電子ビームが必要になってきます。マスク上の要素（トランジスター）は極端紫外線の波長である13.5ナノメートルよりも小さくなります。だから、検査するためには極端紫外線よりも高い解像度が必要になります。したがって、各社は電子ビームのソリューションの開発に取り組んでいます。KLAはその1社です」。",
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      "text": "ホロンの技術資料では、同社の捜査電子顕微鏡を極端紫外線マスク検査に的確な装置だと、力説されている。「極端紫外線リソグラフィにおいて不可欠だ」と謳っている。半導体企業の幹部は、ホロン製の装置の価格は500万～700万ドルで、4000万～6000万ドルもするレーザーテック製の極端紫外線マスク検査装置よりも安い、という。KLA製Teron深紫外線も高価な装置だが、マスク検査の生産性はレーザーテック製の対抗品よりはるかに高いので、より少ない台数で済む。",
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