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      "text": "第9部 来たるべきKLAの極端紫外線のアクティニックパターンマスク検査装置の発売は、レーザーテックにとって存亡の危機となる。KLAの3名の関係者とインテル、サムスン、TSMC、グローバルファウンドリーズの各1名の関係者、その他の専門家が本調査の取材に応じた。全員が、KLA製の装置は2025年に発売されるとの見通しいる。また、KLA製の装置はレーザーテックの対抗製品より技術的に優れており、レーザーテックの当該分野におけるマーケットシェアを奪ってしまうとの見通しも、全員一致している。当然の展開と思える。半導体製造装置分野では「独占体制」が新規市場参入者に追い越されて、一夜のうちに消えてしまった事例が幾つもある。レーザーテックの主要な顧客は同社製の装置について、性能、安定性、アップタイムの不満をもらして、KLAに競合品の開発を急ぐように嘆願している。KLAがより優れた装置を発表すれば、一気に状況が変わり、レーザーテックはゲームオーバー。KLA製の装置はレーザーテックのACTISと比較して光源の性能が優れている。また、KLAはACTISが対応していない高開口数への移行に合わせて装置を設計した。また、バイデン政権の下で適用されているCHIPS法は、ますますレーザーテックに脅威を与える。その法案では、米国政府から補助金を受ける企業は、米国籍の仕入れ先から装置を調達しなければならないことになっている。つまり、KLAがアクティニックの極端紫外線マスク検査装置を発売すれば、TSMC、インテル、サムスンにそれを選ぶように強い圧力がかかる。レーザーテックなどの日系メーカーにとってバッドニュースだ。",
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