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"深紫外線装置が極端紫外線マスク検査に使われているため、レーザーテックは「極端試合線露光分野」で事業展開をしている企業のフリができる。しかし、当然の疑問が持ち上がる。レーザーテックがACTISという最新鋭の装置によってアクティニックパターンマスク検査で独占体制になっているなら、なぜ、旧来の深紫外線技術を使う必要があるのだろうか。答えは、ACTIS装置は致命的な問題だらけだからだ。また、これは本レポートで暴いているレーザーテックの詐欺を理解する鍵でもある。ACTIS装置はあまりに信頼性が低く、動作が遅いので、TSMC、インテル、サムスンはACTISを諦めて、深紫外線装置と別の技術を駆使した自社開発の装置を採用している。", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "bdf03c7a-3860-450c-be49-ba943369c665", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.25, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.61 }, "kind": "quote", "text": "KLA製の非アクティニック深紫外線代替検査法は非常に効果的で、よくできている。システムの出来が波長よりも大事だ。「現在のKLA製の装置は悪くないけれど、アクティニック装置ほどよくないのです。そうは言っても、装置の『でき』は波長よりも重要です。KLAは深紫外線仕様を使っており、直近の学術会議では、KLAが深紫外線仕様の装置で極端紫外線領域の生産活動を支えていることは絶賛されました。極端紫外線と深紫外線はもちろん違いますが、極端紫外線検査でも、深紫外線装置は実際に使えます。その装置は現に使え、工学的によく出来ている歴史が長いです。多くの会社はそれを使っています。今、レーザーテック製のクティニックパターンマスク検査装置を使っている会社もありますが、それを使うのは装置が動いてくれるときに使います」", "attrs": null, "subkind": "testimonial", 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