{ "docId": "019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16", "docSlug": "9abaa7a9bbfc", "documentTitle": "Lasertec Corporation (6920)", "authorId": "58_Scorpion_Capital", "authorName": "Scorpion Capital", "documentKindSlug": "activist-deck", "documentKindLabel": "Activist deck", "sourceTypeSlug": "short_seller", "sourceTypeLabel": "Short seller", "presentationDate": "2024-06-05 00:00:00", "orientation": "landscape", "aspectRatio": 1.3333334, "pageNumber": 291, "pageCount": 334, "prevPage": 290, "nextPage": 292, "slideType": "testimonial", "function": "summarize", "density": "overcrowded", "nDataPoints": 0, "notes": "The slide presents expert testimony defending KLA's non-actinic inspection technology against competitors.", "elementsJson": [ "paragraph", "quote_block" ], "metadataConfidence": 0.9, "imagePath": null, "slideHref": "/slides/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16/291", "deckHref": "/decks/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16", "deckJsonHref": "/decks/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16.json", "deckAnchorHref": "/decks/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16#slide-291", "components": [ { "bbox": null, "kind": "callout", "text": "KLA製の非アクティニック深紫外線（DUV）の代替検査法は非常に効果的で、よくできている。システムの出来が波長よりも大事だ。", "attrs": null, "subkind": null, "toolName": "Visual emphasis", "toolSlug": "visual-emphasis", "confidence": null, "componentId": "019dd953-203d-768d-bb19-59c9d248fb86", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.02, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.81 }, "kind": "paragraph", "text": "—KLAで極端紫外線マスク検査を担当した、元エンジニアリング幹部", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "331f1d36-422b-4a2b-824e-ff7fb608398a", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.03, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.62 }, "kind": "paragraph", "text": "KLA製の非アクティニック深紫外線の代替検査法は非常に効果的で、よくできている。システムの出来が波長よりも大事だ。", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "6405ceb3-ab26-4bbc-8015-29cf02bcb95b", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.02, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.57 }, "kind": "paragraph", "text": "—KLAで極端紫外線マスク検査を担当した、元エンジニアリング幹部", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "7dd0d87d-e429-4445-ad51-80ba113d4081", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.15, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.07 }, "kind": "paragraph", "text": "KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元エンジニアリング幹部は、深紫外線、アクティニックの極端紫外線、電子ビームの各開発プロジェクトに関わった。彼は、KLA製のTeron深紫外線装置などの“非極端紫外線”の装置は極端紫外線マスクの検査に十分対応できる、と強調する。", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "7ebce699-d407-4837-b9ee-12a7362c4139", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.03, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.38 }, "kind": "paragraph", "text": "極端紫外線マスク検査の代替法。最近、KLAは非アクティニックの検査法の開発で賞を受賞した。", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "c3bf44da-fc1f-409a-b7dc-5fd7b118d7bb", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.15, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.42 }, "kind": "quote", "text": "「アクティニック開発プロジェクトに参加したし、深紫外線プロジェクトに参加したし、電子ビームプロジェクトに参加しました。3つとも参加しました。3つともよく知っています。確実に言えることとして、レーザーテックがKLAより先にアクティニックのマスク検査装置を実用化しました。しかし、代替技術があります。2023年に開催された極端紫外線マスクの会議でKLAをはじめとする数社はその他の技術で極端紫外線マスクの検査に貢献したことで賞を受賞しました。したがって、検査のための技術は複数あります。しかし、そうは言っても、私は装置がよく出来ていれば、マスク検査の技術としてアクティニックがベストだと思います。現在、アクティニックに代わる優良の検査技術が存在します。例えば、KLAは電子ビーム装置もあり、ダイ・トゥ・ダイ装置もあるし、極端紫外線装置の開発に取り組んでいます」", "attrs": null, "subkind": "testimonial", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "5e213229-c6c1-4f57-a94d-89a9ad396d89", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.15, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.66 }, "kind": "quote", "text": "「現在のKLA製の装置は悪くないけれど、アクティニック装置ほどよくないのです。そうは言っても、装置の『でき』は波長よりも重要です。KLAは深紫外線仕様を使っており、直近の学術会議では、KLAが深紫外線仕様の装置で極端紫外線領域の生産活動を支えていることは絶賛されました。極端紫外線と深紫外線はもちろん違いますが、極端紫外線検査でも、深紫外線装置は実際に使えます。その装置は現に使えるし、工学的に良く出来ている歴史が長いです。多くの会社はそれを使っています。今、レーザーテック製のアクティニックパターンマスク検査装置を使っている会社もありますが、それを使うのは装置が動いてくれるときに使います」", "attrs": null, "subkind": "testimonial", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "7d7c08b5-1da6-47cb-957f-02fd28e0ca0d", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.15, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.22 }, "kind": "quote", "text": "「理想をいえば、マスクに回路を転写するために使う極端紫外線と同じ波長を、検査にも使いたいところです。しかし、それはあくまでも正しく設計されている装置であることが前提条件で、レーザーテック製の装置は正しく設計されているとはいえません」。その証拠として、2023年に開催された極端紫外線マスクの国際学術会議で、KLAらが極端紫外線検査以外の技術による極端紫外線マスクの検査技術の発展に寄与したことが表彰されたことをあげた。「正確な設計が波長よりも重要です。実際に、深紫外線装置は極端紫外線マスクに使えます。これらの装置は長年にわたって磨き上げられてきた設計で、非常に性能がいいです」。", "attrs": null, "subkind": "testimonial", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "b912586b-36af-48b2-9fa7-b920992c7ace", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": null, "kind": "quote", "text": "「理想をいえば、マスクに回路を転写するために使う極端紫外線と同じ波長を、検査にも使いたいところです。しかし、それはあくまでも正しく設計されている装置であることが前提条件で、レーザーテック製の装置は正しく設計されているとはいえません」 — KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元エンジニアリング幹部", "attrs": null, "subkind": null, "toolName": "Authority citation", "toolSlug": "authority-citation", "confidence": null, "componentId": "019dd953-203d-768d-bb19-5ecf813d0a85", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.05, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.92 }, "kind": "source-note", "text": "出典：スコーピオン・キャピタルによる専門家の電話取材", "attrs": null, "subkind": null, "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "8db9b094-88de-40ad-82d9-d73f610001d5", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null } ], "metrics": [], "tools": [], "frameworks": [], "arcBeats": [], "loops": [], "imagePathAlt": null, "thumbSrc": null, "thumbSrcAlt": null, "locked": true }