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「こういうとお分かりいただけるでしょう。仮にTSMCがレーザーテックとつき合いづづけるとしても、ファブの生産ラインでなくて、マスク工場が中心になるでしょう。つまり、レーザーテック製が役立つのはファブの生産ラインでなくて、マスク工場においてで、電子ビーム投影露光技術で作成したマスクを検査する段階です。ファブの生産ラインでは極端紫外線マスクを常時監視して、問題がないかを頻繁に確認しなければいけません。生産ラインに組みこまれた装置とマスク工場に設置された装置に対する要求は、根本的に違います。ファブに設置された装置は落ちてくる微粒を発見して、それによる被害を測らなければいけません。しかし、被害は装置の作動によって起こるものです。いずれにしても、生産ラインに組み込むとなると、レーザーテック製の装置はその要求に堪えません」", "attrs": null, "subkind": "bullet", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "11b98df6-be35-41d0-adf0-52bf248fee24", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.2, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.67 }, "kind": "list", "text": "Q: 「レーザーテックの幹部と話したとき、他に何か言われましたか。その会社は概ね順調ですか、それともそうじゃないでしょうか」\nA: 「順調じゃないです」\nQ: 「先方は何をいいましたか」\nA: 「とにかく、順調じゃないです。レーザーテック製の装置はこれから、私たちのいう『研究所専用』、『研究開発専用』の装置の位置づけになっていくでしょう」\nQ: 「研究所専用の装置、研究開発専用の装置ですか。生産用のものではないですか」\nA: 「はい、生産用でなくて、研究所用の装置です。生産性の制約のためです。今になってもTSMCは毎週、レーザーテックとの会議を開催しています。ファブにいる私の元同僚の話によれば、レーザーテックに改善を働きかけるために、毎週会議を開いているそうです」", "attrs": null, 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