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"TSMCはレーザーテック製の極端紫外線の検査装置を生産用には使用しない。マスク工場での研究開発用のニッチ装置だと見なしている。ファブではレーザーテック製の極端紫外線の検査装置を不要として、同社製の装置に関しては従来の深紫外線の検査装置で間に合わせている。レーザーテック製のA150装置を6台しか購入していない。\nA: 「レーザーテック製のX8 ULTRAもX9 ULTRAも深紫外線の光源が搭載されていますが、極端紫外線のマスクの検査に使われています。なぜかといえば、極端紫外線の光源が搭載されているACTISのA150やA300よりも生産性が高いからです。生産用の検査装置は極端紫外線の光源は必要ありません」\nQ: 「TSMCのファブではACTISの装置を使わずに、X8 ULTRAやX9 ULTRAを使っているということですか」\nA: 「はい、生産性のために。TSMCでは『EP部門』と言いますが、その工場にしか設置しないでしょう。TSMCはすでにA150を6台購入したし、昨年、初めてのA300も購入しました。A300を買ったのはレーザーテックが光源を『Urashima』というものに切り替えたからです」\nqw135", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "b17a0349-d146-4f67-aad1-19f3b27d4f5d", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.15, "w": 0.86, "x": 0.07, "y": 0.06 }, "kind": "paragraph", "text": "TSMCの元幹部は、同社ではレーザーテック製のアクティニック極端紫外線の検査装置を、マスク工場限定のニッチ装置だと見なし、買わなくなっているという。生産に連動した使用に適さないという。TSMCは現状、レーザーテックからまだA150装置を購入しているかと訊ねると、「いいえ、残念ながら買っていません」と答えた。新しいレーザーテック製の装置、A300の光源はきちんと動かないため、TSMCの認証で不合格になった。このことは事実かと訊ねると、TSMCの元幹部は「はい、不合格でした」と笑って答えた。評価が2023年に行われた、という。「TSMCではACTISのA150もA300も生産用の対象外としています。」", "attrs": null, "subkind": "paragraph", "toolName": null, "toolSlug": null, "confidence": null, "componentId": "d9a34b3d-8d91-45f3-8873-a5800ffa74a4", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": null, "kind": "quote", "text": "「いいえ、残念ながら買っていません」 — TSMCの元幹部", "attrs": null, "subkind": null, "toolName": "Authority citation", "toolSlug": "authority-citation", "confidence": null, "componentId": "019dd953-203d-768d-bb02-8b1881814911", "frameworkName": null, "frameworkSlug": null }, { "bbox": { "h": 0.03, "w": 0.3, "x": 0.07, "y": 0.94 }, "kind": "source-note", "text": "出典：スコーピオン・キャピタルによる専門家の電話取材", "attrs": { "numbered": true }, "subkind": null, "toolName": null, "toolSlug": 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