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      "text": "レーザーテックの装置が使われているのはペリクル検査ができる唯一のものだからだが、実はできない。「嘘をついたのです」\nA: 「はい。インテルがそう信じさせたのです。また、インテルは嘘をついたのです。Q: 「では、ペリクルを使用するのは、まともに検査できることが条件で、その検査をできるのはレーザーテック製の装置しかない、というわけですね」\nA: 「はい、その通りです」\nQ: 「また、こんなに大きな市場シェアを築き上げることができたのは、レーザーテックの装置がペリクル検査ができる唯一のものだったからですね」\nA: 「はい。インテルがそう信じさせたのです。また、インテルは嘘をついたのです。こう言いました「ほらね、この装置が完成すれば、ペリクルをちゃんと検査できる唯一の装置になるので、インテルだけでなく、他社も装置を買うはずです。唯一の装置なのだから、諸々の問題を抱えていたとしても完成を急ぐ必要はなく、余裕をもって解決できるでしょう」。しかし、実際は、問題解決が極めて困難で、時間がかかりすぎています」\nQ: 「結局、レーザーテックの装置はP3の検査にしか使えないものなのですか」\nA: 「いいえ、そんなことはありません。しかし、ご説明した通り、ペリクルを使用している場合、P2とP3は同一の装置になるので、P2とか、P3の装置でなくて『P2/P3』の装置になります」\n――KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元幹部\nqw28b",
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