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      "text": "冒頭に、KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元幹部で、レーザーテックの関係者と直接やり取りしたことがある人物の話を掲載する。彼いわく、「私はKLAにいたとき、「私はKLAにいたとき、2年前からこれについて顧客と話しあってきました。ほんとうに深刻でした。顧客は途方に暮れて、真剣に悩んでいました」。レーザーテックが極端紫外線マスク検査の分野で築きあげてきた独占的な地位は、マスクをデブリから保護するための薄膜＝「ペリクル」を貼った極端紫外線マスクを検査できるということが、その基礎にある。しかし実際のところ、レーザーテック製の検査装置はペリクルを貼ったマスクを検査することにおいても、信頼性が低い。",
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      "text": "本レポートを作成するために、TSMC、インテル、サムスン、グローバルファウンドリーズ、マーベル・テクノロジーという大手の半導体メーカーの元幹部、各会社の工場に設置されているレーザーテック製装置の整備の現場担当であるレーザーテックの数名の元フィールド・サービス・エンジニア、その他に各会社とレーザーテックとの関係に精通している数名の専門家を取材した。このセクションでは彼らから聞いた話を紹介する。",
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      "text": "Q: 「よくわかりました。顧客のうち、つまりサムスン、TSMC、インテルのいずれかはレーザーテックに愛想を尽かしていて、ペリクルの使用をやめようとしているのでしょうか」\nA: 「顧客との話しあいは実に深刻です。私はKLAにいたとき、2年前からこれについて顧客と話しあってきました。ほんとうに深刻でした。顧客は途方に暮れて、真剣に悩んでいました。3ナノメートルの移行が遅れたのはそれだけが原因だと言いませんが、事実として移行は遅れています」\nQ: 「3ナノメートルへの移行が遅れているのは、ペリクル検査の良い解決法が見つからないことがひとつの原因だということですね」\nA: 「はい、唯一の原因だと言いませんが、原因のひとつと言えます。複数の原因がありますが、極端紫外線仕様のペリクルをまともに検査できないのは、間違いなく原因のひとつです」\n—KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元幹部",
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