{
  "docId": "019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16",
  "docSlug": "9abaa7a9bbfc",
  "documentTitle": "Lasertec Corporation (6920)",
  "authorId": "58_Scorpion_Capital",
  "authorName": "Scorpion Capital",
  "documentKindSlug": "activist-deck",
  "documentKindLabel": "Activist deck",
  "sourceTypeSlug": "short_seller",
  "sourceTypeLabel": "Short seller",
  "presentationDate": "2024-06-05 00:00:00",
  "orientation": "landscape",
  "aspectRatio": 1.3333334,
  "pageNumber": 158,
  "pageCount": 334,
  "prevPage": 157,
  "nextPage": 159,
  "slideType": "expose_contradiction",
  "function": "expose_contradiction",
  "density": "balanced",
  "nDataPoints": 0,
  "notes": "The slide uses a Q&A format to highlight technical failures in Ushio's light source, specifically mentioning particle and gas contamination issues.",
  "elementsJson": [
    "paragraph",
    "quote_block",
    "footnote"
  ],
  "metadataConfidence": 0.95,
  "imagePath": null,
  "slideHref": "/slides/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16/158",
  "deckHref": "/decks/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16",
  "deckJsonHref": "/decks/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16.json",
  "deckAnchorHref": "/decks/019dd923-622c-750b-8b9a-26b63f68bb16#slide-158",
  "components": [
    {
      "bbox": null,
      "kind": "callout",
      "text": "ウシオ製の光源は「ひどい仕組み」で、「すべてがめちゃくちゃになる」。",
      "attrs": null,
      "subkind": null,
      "toolName": "Visual emphasis",
      "toolSlug": "visual-emphasis",
      "confidence": null,
      "componentId": "019dd953-203d-768d-bb0d-f5f8d2afe1bb",
      "frameworkName": null,
      "frameworkSlug": null
    },
    {
      "bbox": {
        "h": 0.25,
        "w": 0.86,
        "x": 0.07,
        "y": 0.25
      },
      "kind": "paragraph",
      "text": "ウシオ製の光源は「ひどい仕組み」で、「すべてがめちゃくちゃになる」。\nA: 「KLAのキセノン光源はちゃんと機能します。ウシオの錫光源は失敗。ASMLは違います。彼らは錫を使いますが、赤外線レーザーで発火させます。さすがのASML。KLAの技術については、公表されています。超低温のキセノンガスと赤外線レーザーを使います。ウシオはASMLと同じように、溶けた錫を使いますが、赤外線レーザーでなく、放電用の電極を使います。それはひどい仕組みです。ふたつの『プロペラー』を使うことによって、すべてがめちゃくちゃになります」\nQ: 「なんか、解明するには十年くらいかかりそうです。すごく複雑そうです」\nA: 「その通りです。Isteqの光源は商業的なアプローチで完成されそうになくて、うまくいくはずもありません。Isteqの光源は純粋研究のために開発されたものです。研究は継続的でなく、瞬発的に進むものです。しかし、検査では毎日24時間の稼働に耐えなければいけません。また、それはたいへんです。とてもたいへんですよ。まったく違います」",
      "attrs": null,
      "subkind": "paragraph",
      "toolName": null,
      "toolSlug": null,
      "confidence": null,
      "componentId": "2c9cac1b-d498-4c90-8426-0c5b28d8f9ac",
      "frameworkName": null,
      "frameworkSlug": null
    },
    {
      "bbox": {
        "h": 0.18,
        "w": 0.86,
        "x": 0.07,
        "y": 0.06
      },
      "kind": "paragraph",
      "text": "先述のKLAの元幹部は、ウシオ製の光源の原理を自動車の点火プラグ、あるいは向き合っている扇風機に例えて「ひどい仕組み」で、「すべてがめちゃくちゃになる」と批判する。同じくレーザーを使うASML製の光源やKLAが開発しているキセノンを使う光源と比較して、はるかに劣ると結論づける。ウシオ製の「光源による被害は粒子だけでなく、ガス、つまり、揮発性有機化合物の発生をもたらします。いわゆる『オフガス』のことです。」つまり、マスクを検査するという本来の機能を阻害してしまう。「要は、ふたつの問題があるということです。ひとつは粒子が発生して、いずれマスクに汚れとして付着する。もうひとつは、ガスが発生することによって、本来ならクリーンな光学系に載っている画像も含めて、ガスが全面に付着してしまいます。」",
      "attrs": null,
      "subkind": "paragraph",
      "toolName": null,
      "toolSlug": null,
      "confidence": null,
      "componentId": "7acfbbdc-e958-4cbd-bfa0-72db0fa91ab4",
      "frameworkName": null,
      "frameworkSlug": null
    },
    {
      "bbox": null,
      "kind": "quote",
      "text": "「KLAのキセノン光源はちゃんと機能します。ウシオの錫光源は失敗。ASMLは違います。彼らは錫を使いますが、赤外線レーザーで発火させます。さすがのASML。KLAの技術については、公表されています。超低温のキセノンガスと赤外線レーザーを使います。ウシオはASMLと同じように、溶けた錫を使いますが、赤外線レーザーでなくて、放電用の電極を使います。それはひどい仕組みです。ふたつの『プロペラー』を使うことによって、すべてがめちゃくちゃになります」 — KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元幹部",
      "attrs": null,
      "subkind": null,
      "toolName": "Authority citation",
      "toolSlug": "authority-citation",
      "confidence": null,
      "componentId": "019dd953-203d-768d-bb0d-faf568c1f738",
      "frameworkName": null,
      "frameworkSlug": null
    },
    {
      "bbox": {
        "h": 0.05,
        "w": 0.35,
        "x": 0.07,
        "y": 0.5
      },
      "kind": "source-note",
      "text": "——KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元幹部\n出典：スコーピオン・キャピタルによる専門家の電話取材",
      "attrs": null,
      "subkind": null,
      "toolName": null,
      "toolSlug": null,
      "confidence": null,
      "componentId": "a8a59b8a-7b6b-4acd-8352-a91c6c3f280e",
      "frameworkName": null,
      "frameworkSlug": null
    }
  ],
  "metrics": [],
  "tools": [],
  "frameworks": [],
  "arcBeats": [],
  "loops": [],
  "imagePathAlt": null,
  "thumbSrc": null,
  "thumbSrcAlt": null,
  "locked": true
}