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      "text": "ウシオ製の光源は「ひどい仕組み」で、「すべてがめちゃくちゃになる」。\nA:「KLAのキセノン光源はちゃんと機能します。ウシオの錫光源は失敗。ASMLは違います。彼らは錫を使いますが、赤外線レーザーで発火させます。さすがのASML。KLAの技術については、公表されています。超低温のキセノンガスと赤外線レーザーを使います。ウシオはASMLと同じように、溶けた錫を使いますが、赤外線レーザーでなくて、放電用の電極を使います。それはひどい仕組みです。ふたつの『プロペラー』を使うことによって、すべてがめちゃくちゃになります」\nQ:「なんか、解明するには十年くらいかかりそうです。すごく複雑そうです」\nA:「その通りです。Isteqの光源は商業的なアプローチで完成されそうでなくて、うまくいくはずもありません。Isteqの光源は純粋研究のために開発されたものです。研究は継続的でなく、瞬発的に進むものです。しかし、検査では毎日24時間の稼働に耐えなければいけません。また、それはたいへんです。とてもたいへんですよ。まったく違います」\n—KLAで極端紫外線マスク検査を担当した元幹部\nqw10",
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